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爱德华XDS35i涡旋泵维修问题

爱德华XDS35i涡旋泵维修问题

XDS35i爱德华涡旋泵一般使用在半导体行业,实验室,一般清洁泵送应用,电子扫描显微镜-SEM,射束线和高能物理,前级涡轮泵,超高速离心机,覆层,低温学,脱气/硫化-油,环氧树脂,蒸馏/萃取/过滤,冷冻干燥,熔炉,凝胶体干燥,实验室工作台上真空,激光、气体回收和再循环,氦检漏仪,负载锁和传输腔,稀有气体再循环,稀有气体回收,冷冻制造,研发,旋转离心蒸发器,SEM/FIB(离子束维修),溶剂回收,表面科学仪器。

涡旋泵使用久了,会出现真空度不够,噪音偏大,温度异常,卡死等问题。具体情况就要具体分析。若只是单纯的真空度不够,没有出现噪音偏大等其他问题。一般就是更换密封线,O型圈。必须拆开看以后,看下内部磨盘是否有磨损。没有磨损,就把线槽,内外磨盘清理干净。更换原装正品的密封包。

若是出现噪音大或者卡死,这个一定要用专业的工具拆解出轴承部位的。更换原装正品的轴承包和密封包。做以上维修,一定要专业的维修工程师来拆解和安装。不懂得门外汉一定要私自去拆解和安装。否则弄不好会把涡旋泵搞报废。

进口真空设备供应商

Edwards XDS 和 nXDS 系列干式涡旋泵
Edwards 干式涡旋泵为各种应用提供成熟的干式清洁真空解决方案。
当需要无油抽空时,涡旋泵是旋片泵的替代品。
Edwards XDS35i 干式涡旋泵
Edwards XDS35i 干式涡旋泵
轴承护罩
确保制程气体和轴承润滑分离,以保证清洁真空并使润滑不被制程气体污染,从而延长轴承使用寿命。
智能电机驱动
意味着全程稳定的性能、泵过载保护和远程启动/停止功能。
高流速气囊功能
允许泵送蒸汽,包括高达 240 gh-1 的水蒸汽
简便的单侧涡旋设计
可在数分钟内完成维护,以降低拥有成本并最大程度延长正常运行时间。
更进一步
增强型在初始抽空期间可减少多达 20% 的峰值电力需求,这意味着它能够在不损失性能的情况下抽空大容量腔室,且在该粗抽压力下抽取速度可提高达 25%,这也有助于提高应用循环频率。
XDS 干式涡旋泵
在干泵真空领域,XDS35i爱德华涡旋泵已成为行业标准,在广泛的应用中被证明是一种坚固耐用且清洁的真空泵解决方案。
现在,结合专利的双启动涡旋形式技术和旁通阀,Edwards 得以提供 XDS35i 增强型系列泵,以补充我们原有的产品线。
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