爱德华XDS46i涡旋泵
Edwards XDS35i/XDS46i 干式涡旋泵
Edwards XDS35i/XDS46i 干式涡旋泵
轴承护罩
确保制程气体和轴承润滑分离，以保证清洁真空并使润滑不被制程气体污染，从而延长轴承使用寿命。
智能电机驱动
意味着全程稳定的性能、泵过载保护和远程启动/停止功能。
高流速气囊功能
允许泵送蒸汽，包括高达 240 gh-1 的水蒸汽
简便的单侧涡旋设计
可在数分钟内完成维护，以降低拥有成本并大程度延长正常运行时间。
更进一步
增强型在初始抽空期间可减少多达 20％ 的峰值电力需求，这意味着它能够在不损失性能的情况下抽空大容量腔室，且在该粗抽压力下抽取速度可提高达 25％，这也有助于提高应用循环频率。
XDS 干式涡旋泵
在干泵真空领域，XDS 干式涡旋泵已成为行业标准，在广泛的应用中被证明是一种坚固耐用且清洁的真空泵解决方案。
现在，结合zhuanli的双启动涡旋形式技术和旁通阀，Edwards 得以提供 XDS35i/XDS46i 增强型系列泵，以补充我们原有的产品线。
