ZRS系列机械增压泵基于罗茨原理，机械增压泵是压力范围为0.01至10 mbar需要
大抽速的应用中广受欢迎的类型。一般需要配套一台前级泵使用，前级泵可以预
抽到增压泵的启动压力。机械增压泵运行压力相对较低，不会暴露在与前级泵相
同浓度的腐蚀性工艺介质中，因此可靠性非常高。
特性和优势
适用于压力范围为0.01至50 mbar/0.0075至37.5 Torr，需要抽速较大的应用
场合
运行压力相对较低，可靠性高
ZRS系列属于高品质、无油泵结构
- 噪音低、无振动运行
- 坚固耐用、耐腐蚀
- 拥有先进的轴封技术，工艺腔无油污染
有效的轴封确保油不会进入泵腔，而且由于没有内部和外部旁通管路和阀这
些可能会被腐蚀的部件，因此将维护需求降至尽可能低。
对轴封的设计进行了优化，以确保润滑剂不会迁移到泵腔，使泵在洁净度要
求非常高的环境下发挥增压泵的性能。此外，还可以防止在公差非常严格的转子
凸角和端面上聚集微尘颗粒。
动平衡的转子及精密研磨齿轮使泵的运行平稳、静音，以满足先进技术设备
制造商的要求。
应用
真空包装
干燥及脱气
真空冶金
真空蒸馏
薄膜涂层
低密度风洞
空间模拟
真空浸渍
冷冻干燥
技术
液力传动技术
ZRS系列增压泵具有独特的液力传动装置，它将马达连接到泵体。该液力传动装
置具有以下优点：
抽气时间缩短达50%
没有压力传感器、旁通管路或阀门
降低了投资和运行成本
配前级泵后，可在所有压力下连续运行
抽气时间缩短达50%
液力传动技术使得增压泵可以与前级泵同时启动，并防止启动时电机过载。因此
，ZRS系列增压泵有助于缩短系统的抽气时间。
自动过载保护
液力传动装置可以自动调整泵的转速，从而防止电机过载、过热，泵也可以在高
压力差下运行。
节约成本
选择使用ZRS系列机械增压泵，可以实现安装和运行成本节约。由于不需要配备
阀、旁通管路和压力开关，并且还可以配备比常规驱动增压泵所需的更小的前级
泵，因此可以节约投资成本。
