iH80,iH160,iH1000,iH1800
iGX100L,iGX600L,iGX100N,iGX600N,iGX1000N,iGX100M,iGX100MTI,iGX600M
GX100L,GX100N,GX600L,GX600N,GX1000N,GX100TI
功能和优势
优化了设施消耗。
无需预防性维护。
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积
概述
Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。
iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
应用
负载锁、输送、计量、平版印刷、PVD 制程、PVD 预清洁、RTA、剥离/灰化、刻蚀、植入源、HDP CVD、RTP、SACVD、MCVD、PECVD、LPCVD、ALD
有关任何特定应用条件下 iH 系统稳定性的建议，请与 东莞市鸿鑫真空设备有限公司联系。
