FRG-700/702 安捷伦真空计
FRG-700/702 皮拉尼反磁控真空规
安捷伦 FRG-700 规为全量程规,在紧凑且经济的规管内集成两种测量技术,以测量从 5 x 10 -9 mbar
至大气压(3.8 x 10 -9 Torr 至大气压)的工作压力和极限压力。带有一个对数模拟输出信号的单一
紧凑规管可大幅降低安装、设置和集成的复杂性。其优点在于降低成本并显著降低对宝贵空间的要求。
FRG-702 为 FRG-700 的全金属型号,内含金属密封的真空密封穿导件。该规管可以在比 FRG-700(法
兰处最高 55℃)更高的温度(法兰处最高 150℃)下工作。
两种测量技术集于一台紧凑、一体化、经济的封装中
测量过程和极限压力从 5 x 10-9 mbar 至大气压(3.8 x 10-9 Torr 至大气压)
一体化、紧凑的规管带有对数模拟输出,可大幅降低安装、设置和集成的复杂性
适合监控高真空压力、蒸镀和溅镀系统的极限压力,以及中高真空范围内的普通真空测量和控制
宽测量范围,从 5 × 10-9 mbar 至大气压
灯丝不易毁坏
优异的启动性能
易于清洁