Edwards nXDS15i 干式涡旋泵
标称旋转速度 1800 rpm
排量 17.1 m3h-1 / 10.1 ft3min-1
峰值抽速 15.1 m3h-1 / 8.9 ft3min-1
极限真空（总压力） 0.007 mbar / 0.005 Torr
最小待机旋转速度 1200 rpm
速度控制精度（以全速百分比表示） 1%
最小转速时的抽速 9.9
最大连续进气口压力 200 mbar
电机功率（一相） 300 W
电源连接器（1 相） IEC EN60320 C13
推荐保险丝 10A，250Vac rms
重量 25.2 kg / 56 lb
入口法兰 NW25
排气口法兰 NW25
噪音级别 52 dB(A)
入口法兰处抗振性 < 4.5 mms-1 (rms)
密封性（静态） < 1x10-6 mbar ls-1
工作温度范围 10 至 40 °C / 41 至 104 °F
概述
nXDS15i 是下一代完全无油的干式涡旋泵，可在各种应用中取代同等尺寸的干泵和中等尺寸的油封
泵。nXDS 提高了传统 XDS 泵的性能，抽速更高，极限压力更低，功耗更低，噪声更小。 气镇允
许泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶剂、稀酸和碱。nXDS 还采用了最新的端部密封技术，显著延长了
端部密封更换的时间间隔。 具有自动电压输入感知功能的集成变频器驱动提供整体优化的泵送性
能，nXDS 可完全进行现场维修。
用途
一般清洁泵送应用
电子扫描显微镜 - SEM
射束线和高能物理
前级涡轮泵
超高速离心机
覆层
低温学
脱气/硫化 - 油，环氧树脂
蒸馏/萃取/过滤
冷冻干燥
熔炉
凝胶体干燥
实验室工作台上真空
激光、气体回收和再循环
氦检漏仪
负载锁和传输腔
稀有气体再循环
稀有气体回收
冷冻制造
研发
旋转离心蒸发器
SEM/FIB（离子束维修）
溶剂回收
表面科学仪器
Edwards nXDS20i 干式涡旋泵
标称旋转速度 1800 rpm
排量 28.0 m3h-1 / 16.5 ft3min-1
峰值抽速 22.0 m3h-1 / 13.0 ft3min-1
极限真空（总压力） 0.030 mbar / 0.022 Torr
最小待机旋转速度 1200 rpm
速度控制精度（以全速百分比表示） 1%
最小转速时的抽速 10
最大连续进气口压力 50 mbar
电机功率（一相） 260 W
电源连接器（1 相） IEC EN60320 C13
推荐保险丝 10A，250Vac rms
重量 25.6 kg / 56 lb
入口法兰 NW25
排气口法兰 NW25
噪音级别 52 dB(A)
入口法兰处抗振性 < 4.5 mms-1 (rms)
密封性（静态） < 1x10-6 mbar ls-1
工作温度范围 10 至 40 °C / 41 至 104 °F
