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爱发科NRL180A干式真空泵维修NRL60A/NRL90A/NRL180A干式真空泵特长NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外，尤其适用于希望提高流量，缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。低噪音、低振动优良的耐腐蚀性标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理，降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。选购件可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。用途•活性气体（CV
