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ULVAC爱发科NB2400B罗茨泵维修NB2400B罗茨式真空泵特长洁净的真空腔体内没有润滑油,对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能。特殊表面处理•主要部件表面进行硬质氧化处理,提高耐腐蚀性,同时减少泵体内部损伤。•此特性可选,标准品表面不处理。配置变频器缩短排气时间•配置变频器后与粗抽泵同时启动,与标准泵相比有效缩短排气时间。•此配件可选,标准泵不配置。用途•镀膜、溅射、离子镀、液晶注入。•