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nXDS10i爱德华涡旋泵密封包及行业应用EdwardsnXDS10i爱德华涡旋泵密封包有密封线，O型圈等标称旋转速度1800rpm排量12.7m3h-1/7.5ft3min-1峰值抽速11.4m3h-1/6.7ft3min-1极限真空（总压力）0.007mbar/0.005Torr最小待机旋转速度1200rpm速度控制精度（以全速百分比表示）1%最小转速时的抽速7.5最大连续进气口压力200mb
