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爱德华nXDS15i干式涡旋泵标称旋转速度1800rpm排量17.1m3h-1/10.1ft3min-1峰值抽速15.1m3h-1/8.9ft3min-1极限真空(总压力)0.007mbar/0.005Torr最小待机旋转速度1200rpm速度控制精度(以全速百分比表示)1%最小转速时的抽速9.9最大连续进气口压力200mbar电机功率(一相)300W电源连接器(1相)IECEN60320C13推