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爱德华nXDS20i涡旋泵维修介绍EdwardsnXDS20i干式涡旋泵标称旋转速度1800rpm排量28.0m3h-1/16.5ft3min-1峰值抽速22.0m3h-1/13.0ft3min-1极限真空（总压力）0.030mbar/0.022Torr最小待机旋转速度1200rpm速度控制精度（以全速百分比表示）1%最小转速时的抽速10最大连续进气口压力50mbar电机功率（一相）260W电源连
