XDS35i/XDS100密封包编号A73001801
XDS5-5C/10-10C密封包编号A72601805
nXDS6i/nXDS10i/nXDS15i/nXDS20i密封包A73501801
轴承护罩
确保制程气体和轴承润滑分离，以保证清洁真空并使润滑不被制程气体污染，从而延长轴承使用寿命。
智能电机驱动
意味着全程稳定的性能、泵过载保护和远程启动/停止功能。
高流速气囊功能
允许泵送蒸汽，包括高达 240 gh-1 的水蒸汽
简便的单侧涡旋设计
可在数分钟内完成维护，以降低拥有成本并大程度延长正常运行时间。
更进一步
增强型在初始抽空期间可减少多达 20％ 的峰值电力需求，这意味着它能够在不损失性能的情况下抽空大容量腔室，且在该粗抽压力下抽取速度可提高达 25％，这也有助于提高应用循环频率。
XDS 干式涡旋泵
在干泵真空领域，XDS 干式涡旋泵已成为行业标准，在广泛的应用中被证明是一种坚固耐用且清洁的真空泵解决方案。
现在，结合专利的双启动涡旋形式技术和旁通阀，Edwards 得以提供 XDS35i 增强型系列泵，以补充我们原有的产品线。
产品应用：
一般清洁泵送应用，电子扫描显微镜-SEM，射束线和高能物理，前级涡轮泵，超高速离心机，覆层，低温学，脱气/硫化-油，环氧树脂，蒸馏/萃取/过滤，冷冻干燥，熔炉，凝胶体干燥，实验室工作台上真空，激光、气体回收和再循环，氦检漏仪，负载锁和传输腔，稀有气体再循环，稀有气体回收，冷冻制造，研发，旋转离心蒸发器，SEM/FIB（离子束维修），溶剂回收，表面科学仪器。
