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XDS35i/XDS100密封包编号A73001801XDS5-5C/10-10C密封包编号A72601805nXDS6i/nXDS10i/nXDS15i/nXDS20i密封包A73501801轴承护罩确保制程气体和轴承润滑分离,以保证清洁真空并使润滑不被制程气体污染,从而延长轴承使用寿命。智能电机驱动意味着全程稳定的性能、泵过载保护和远程启动/停止功能。高流速气囊功能允许泵送蒸汽,包括高达240