nXDS10i爱德华干式涡旋泵EdwardsXDS和nXDS系列干式涡旋泵Edwards干式涡旋泵为各种应用提供成熟的干式清洁真空解决方案。当需要无油抽空时，涡旋泵是旋片泵的绝佳替代品。EdwardsXDS35i干式涡旋泵EdwardsXDS35i干式涡旋泵XDS干式涡旋泵在干泵真空领域，XDS干式涡旋泵已成为行业标准，在广泛的应用中被证明是一种坚固耐用且清洁的真空泵解决方案。现在，结合专利的双启

nXDS10i爱德华涡旋泵维修，爱德华涡旋泵维修，爱德华nXDS10i涡旋泵维修EdwardsXDS和nXDS系列干式涡旋泵Edwards干式涡旋泵为各种应用提供成熟的干式清洁真空解决方案。当需要无油抽空时，涡旋泵是旋片泵的绝佳替代品。EdwardsXDS35i干式涡旋泵EdwardsXDS35i干式涡旋泵XDS干式涡旋泵在干泵真空领域，XDS干式涡旋泵已成为行业标准，在广泛的应用中被证明是一种坚

XDS35i/XDS100密封包编号A73001801XDS5-5C/10-10C密封包编号A72601805nXDS6i/nXDS10i/nXDS15i/nXDS20i密封包A73501801轴承护罩确保制程气体和轴承润滑分离，以保证清洁真空并使润滑不被制程气体污染，从而延长轴承使用寿命。智能电机驱动意味着全程稳定的性能、泵过载保护和远程启动/停止功能。高流速气囊功能允许泵送蒸汽，包括高达240

XDS35i/XDS100密封包编号A73001801XDS5-5C/10-10C密封包编号A72601805nXDS6i/nXDS10i/nXDS15i/nXDS20i密封包A73501801更进一步增强型在初始抽空期间可减少多达20％的峰值电力需求，这意味着它能够在不损失性能的情况下抽空大容量腔室，且在该粗抽压力下抽取速度可提高达25％，这也有助于提高应用循环频率。XDS干式涡旋泵在干泵真空领

爱德华nXDS6i/nXDS10i涡旋泵密封圈XDS35i/XDS100密封包编号A73001801XDS5-5C/10-10C密封包编号A72601805nXDS6i/nXDS10i/nXDS15i/nXDS20i密封包A7350180152dB(A)入口法兰处抗振性<4.5mms-1(rms)密封性（静态）<1x10-6mbarls-1工作温度范围10至40°C/41至104°

爱德华nXDS15i/nXDS20i涡旋泵密封圈XDS35i/XDS100密封包编号A73001801XDS5-5C/10-10C密封包编号A72601805nXDS6i/nXDS10i/nXDS15i/nXDS20i密封包A73501801EdwardsnXDS15i干式涡旋泵标称旋转速度1800rpm排量17.1m3h-1/10.1ft3min-1峰值抽速15.1m3h-1/8.9ft3min

nXDS10i爱德华涡旋泵密封包及行业应用EdwardsnXDS10i爱德华涡旋泵密封包有密封线，O型圈等标称旋转速度1800rpm排量12.7m3h-1/7.5ft3min-1峰值抽速11.4m3h-1/6.7ft3min-1极限真空（总压力）0.007mbar/0.005Torr最小待机旋转速度1200rpm速度控制精度（以全速百分比表示）1%最小转速时的抽速7.5最大连续进气口压力200mb

nXDS10i爱德华干式涡旋泵维修EdwardsnXDS10i干式涡旋泵标称旋转速度1800rpm排量12.7m3h-1/7.5ft3min-1峰值抽速11.4m3h-1/6.7ft3min-1极限真空（总压力）0.007mbar/0.005Torr最小待机旋转速度1200rpm速度控制精度（以全速百分比表示）1%最小转速时的抽速7.5最大连续进气口压力200mbar电机功率（一相）280W电源连