nXDS20i爱德华涡旋泵维修nXDS20i爱德华涡旋泵维修EdwardsnXDS20i干式涡旋泵标称旋转速度1800rpm排量28.0m3h-1/16.5ft3min-1峰值抽速22.0m3h-1/13.0ft3min-1极限真空（总压力）0.030mbar/0.022Torr最小待机旋转速度1200rpm速度控制精度（以全速百分比表示）1%最小转速时的抽速10最大连续进气口压力50mbar电机

XDS35i/XDS100密封包编号A73001801XDS5-5C/10-10C密封包编号A72601805nXDS6i/nXDS10i/nXDS15i/nXDS20i密封包A73501801轴承护罩确保制程气体和轴承润滑分离，以保证清洁真空并使润滑不被制程气体污染，从而延长轴承使用寿命。智能电机驱动意味着全程稳定的性能、泵过载保护和远程启动/停止功能。高流速气囊功能允许泵送蒸汽，包括高达240

XDS35i/XDS100密封包编号A73001801XDS5-5C/10-10C密封包编号A72601805nXDS6i/nXDS10i/nXDS15i/nXDS20i密封包A73501801更进一步增强型在初始抽空期间可减少多达20％的峰值电力需求，这意味着它能够在不损失性能的情况下抽空大容量腔室，且在该粗抽压力下抽取速度可提高达25％，这也有助于提高应用循环频率。XDS干式涡旋泵在干泵真空领

爱德华nXDS6i/nXDS10i涡旋泵密封圈XDS35i/XDS100密封包编号A73001801XDS5-5C/10-10C密封包编号A72601805nXDS6i/nXDS10i/nXDS15i/nXDS20i密封包A7350180152dB(A)入口法兰处抗振性<4.5mms-1(rms)密封性（静态）<1x10-6mbarls-1工作温度范围10至40°C/41至104°

爱德华nXDS15i/nXDS20i涡旋泵密封圈XDS35i/XDS100密封包编号A73001801XDS5-5C/10-10C密封包编号A72601805nXDS6i/nXDS10i/nXDS15i/nXDS20i密封包A73501801EdwardsnXDS15i干式涡旋泵标称旋转速度1800rpm排量17.1m3h-1/10.1ft3min-1峰值抽速15.1m3h-1/8.9ft3min

爱德华nXDS20i涡旋泵维修介绍EdwardsnXDS20i干式涡旋泵标称旋转速度1800rpm排量28.0m3h-1/16.5ft3min-1峰值抽速22.0m3h-1/13.0ft3min-1极限真空（总压力）0.030mbar/0.022Torr最小待机旋转速度1200rpm速度控制精度（以全速百分比表示）1%最小转速时的抽速10最大连续进气口压力50mbar电机功率（一相）260W电源连

EdwardsnXDS20i爱德华干式涡旋泵标称旋转速度1800rpm排量28.0m3h-1/16.5ft3min-1峰值抽速22.0m3h-1/13.0ft3min-1极限真空（总压力）0.030mbar/0.022Torr最小待机旋转速度1200rpm速度控制精度（以全速百分比表示）1%最小转速时的抽速10最大连续进气口压力50mbar电机功率（一相）260W电源连接器（1相）IECEN603