nXDS10i爱德华干式涡旋泵EdwardsXDS和nXDS系列干式涡旋泵Edwards干式涡旋泵为各种应用提供成熟的干式清洁真空解决方案。当需要无油抽空时，涡旋泵是旋片泵的绝佳替代品。EdwardsXDS35i干式涡旋泵EdwardsXDS35i干式涡旋泵XDS干式涡旋泵在干泵真空领域，XDS干式涡旋泵已成为行业标准，在广泛的应用中被证明是一种坚固耐用且清洁的真空泵解决方案。现在，结合专利的双启

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XDS35i爱德华涡旋真空泵EdwardsXDS35i/XDS46i干式涡旋泵EdwardsXDS35i/XDS46i干式涡旋泵轴承护罩确保制程气体和轴承润滑分离，以保证清洁真空并使润滑不被制程气体污染，从而延长轴承使用寿命。智能电机驱动意味着全程稳定的性能、泵过载保护和远程启动/停止功能。高流速气囊功能允许泵送蒸汽，包括高达240gh-1的水蒸汽简便的单侧涡旋设计可在数分钟内完成维护，以降低拥有

爱德华XDS46i涡旋泵EdwardsXDS35i/XDS46i干式涡旋泵EdwardsXDS35i/XDS46i干式涡旋泵轴承护罩确保制程气体和轴承润滑分离，以保证清洁真空并使润滑不被制程气体污染，从而延长轴承使用寿命。智能电机驱动意味着全程稳定的性能、泵过载保护和远程启动/停止功能。高流速气囊功能允许泵送蒸汽，包括高达240gh-1的水蒸汽简便的单侧涡旋设计可在数分钟内完成维护，以降低拥有成本

XDS35i爱德华涡旋泵维修XDS35i/XDS46i爱德华涡旋泵维修保养根据涡旋泵的情况来分析1、噪音大，声音很尖锐刺耳问题是轴承端有磨损。需要更换轴承端的维修包2、温度高有异常问题也是出现在轴承端。更换新的轴承端的维修包3、真空度不够，声音正常。问题是密封包磨损严重，起不到密封作用。更换新的密封条和O型圈等4、涡旋泵启动不了问题大部分还是轴承端卡死。更换轴承端维修包。还有就是控制电路板损坏，但

爱德华XDS46i涡旋泵维修保养XDS35i/XDS46i爱德华涡旋泵维修保养根据涡旋泵的情况来分析1、噪音大，声音很尖锐刺耳问题是轴承端有磨损。需要更换轴承端的维修包2、温度高有异常问题也是出现在轴承端。更换新的轴承端的维修包3、真空度不够，声音正常。问题是密封包磨损严重，起不到密封作用。更换新的密封条和O型圈等4、涡旋泵启动不了问题大部分还是轴承端卡死。更换轴承端维修包。还有就是控制电路板损坏

XDS35i/XDS100密封包编号A73001801XDS5-5C/10-10C密封包编号A72601805nXDS6i/nXDS10i/nXDS15i/nXDS20i密封包A73501801轴承护罩确保制程气体和轴承润滑分离，以保证清洁真空并使润滑不被制程气体污染，从而延长轴承使用寿命。智能电机驱动意味着全程稳定的性能、泵过载保护和远程启动/停止功能。高流速气囊功能允许泵送蒸汽，包括高达240

XDS35i/XDS100密封包编号A73001801XDS5-5C/10-10C密封包编号A72601805nXDS6i/nXDS10i/nXDS15i/nXDS20i密封包A73501801更进一步增强型在初始抽空期间可减少多达20％的峰值电力需求，这意味着它能够在不损失性能的情况下抽空大容量腔室，且在该粗抽压力下抽取速度可提高达25％，这也有助于提高应用循环频率。XDS干式涡旋泵在干泵真空领

爱德华nXDS6i/nXDS10i涡旋泵密封圈XDS35i/XDS100密封包编号A73001801XDS5-5C/10-10C密封包编号A72601805nXDS6i/nXDS10i/nXDS15i/nXDS20i密封包A7350180152dB(A)入口法兰处抗振性<4.5mms-1(rms)密封性（静态）<1x10-6mbarls-1工作温度范围10至40°C/41至104°

爱德华nXDS15i/nXDS20i涡旋泵密封圈XDS35i/XDS100密封包编号A73001801XDS5-5C/10-10C密封包编号A72601805nXDS6i/nXDS10i/nXDS15i/nXDS20i密封包A73501801EdwardsnXDS15i干式涡旋泵标称旋转速度1800rpm排量17.1m3h-1/10.1ft3min-1峰值抽速15.1m3h-1/8.9ft3min